A les indústries de-semiconductors i optoelectrònics de ràpid creixement, els equips RTP (Rapid Thermal Processing) de baixa-temperatura són un cavall de batalla total-la seva precisió afecta directament el bon funcionament dels vostres processos i el tipus de rendiment de producció que obteniu. En aquesta guia s'expliquen les coses clau a cercar, per a qui és millor i on s'adapta-sense sobrecàrrega d'argot, només els elements essencials per ajudar-vos a decidir.
I. Coses clau a buscar en comprar
Control de temperatura: cobreix entre 250 i 500 graus i el control és molt precís-a més d'una zona plana de 860mm. Això vol dir que cada hòstia obté una calor constant, la qual cosa redueix realment els defectes.
Capacitat de processament: està dissenyat per a hòsties de 8-polzades (també funciona amb 6- polzades) i n'encarreguen 150 per lot. Perfecte si esteu saltant entre les proves d'R+D i la producció a gran escala, no cal canviar l'equip a mig camí.
Estabilitat del procés: Té tecnologia de control i purificació de la contaminació de partícules sòlides. Funciona amb niobat de liti, silici i tots els dispositius convencionals-perquè no et trobis amb maldecaps de compatibilitat.
Fiabilitat: Comprova totes les caselles per a les necessitats de precisió de fabricació de dispositius optoelectrònics. I canviar entre experiments-per lots petits i tirades a gran-escala? Super suau, sense singlots.
II. A qui s'adreça aquest equip
Fabricants de semiconductors: Si esteu activant CMOS, IGBT o dispositius similars, això és per a vosaltres. Necessiteu eficiència, processos coherents i lots que facin el mateix-amb tots tres.
Productors de dispositius optoelectrònics: es fabriquen VCSEL, fotodetectors o dispositius òptics integrats? Us encantarà l'àmplia compatibilitat de materials i com manté la qualitat de la interfície de l'hòstia nítida.
Universitats i laboratoris: esteu treballant en coses-vanguardistes com ara carbur de silici o xips quàntics? És prou flexible per a experiments petits, però robust per augmentar l'escala-idéal per ajustar paràmetres i fer avenços.
III. On Brilla
Fabricació de dispositius semiconductors: elimina els defectes de la gelosia en el rang de 250 graus -500 graus, augmenta el rendiment elèctric i manté els rendiments alts.
Fabricació de dispositius optoelectrònics: redueix la interferència de partícules durant el recuit, fa que les pel·lícules primes siguin més denses i millora el confinament i l'aïllament òptic.
R+D i validació de processos: canvia perfectament entre les proves petites i el control de la temperatura coherent de -processament a gran escala-permet que els experiments siguin fiables, ajudant-vos a trobar noves tecnologies.
Escollir l'equip RTP de baixa -temperatura adequat es tracta de satisfer les vostres necessitats de temperatura, els requisits de capacitat i els materials amb què treballeu. Si encara esteu a punt, poseu-vos en contacte amb-l'ajudarem a trobar l'ajust perfecte perquè les vostres operacions funcionin sense problemes.
