El nostre equip RTP d'oxidació d'alta -temperatura és una eina tèrmica bàsica per a la-producció de semiconductors a gran escala-la seva feina principal és crear pel·lícules de SiO₂ netes i denses sobre substrats de silici, perfectes per fer dispositius CMOS, IGBT i MEMS. S'utilitza àmpliament en la fabricació de semiconductors, l'electrònica d'energia nova, els components electrònics d'alta-gama i fins i tot els entorns universitaris o de laboratori d'investigació per a la R+D de semiconductors i la producció pilot.
Com triar el model adequat
Escollir el correcte es redueix a les vostres necessitats i processos de producció-aquí teniu un desglossament senzill:
Model de 1. 12-polzades
Si us agrada la producció en massa avançada d'hòsties de-gran mida, aquesta és la indicada. Pot gestionar més o menys 125 hòsties per vaixell, per la qual cosa és ideal per a la fabricació de grans-volums a gran-fabricació de dispositius semiconductors bàsics. A més, ofereix un control precís de la temperatura (± 0,5 graus) i una zona de temperatura constant superior o igual a 850 mm, assegurant un gruix de pel·lícula consistent (WIW/WTW/RTR inferior o igual a ± 2%) per a cada lot.
Model de 2. 8-polzades
Això es tracta de flexibilitat. Funciona amb diversos mètodes d'oxidació-oxigen sec (Si) i oxigen humit (evaporació ràpida/bany d'aigua/encesa H2O)-per tant, s'adapta a la majoria de les necessitats de producció en massa. Pel que fa a la temperatura-, oscil·la entre els 600-1150 graus amb una precisió de control inferior o igual a ±0,5 graus, i la seva zona de temperatura constant (300-860 mm) ofereix una uniformitat de pel·lícula fiable (WIW/WTW inferior o igual a ±2%). Està dissenyat per a la producció en massa de 8 polzades, de manera que l'eficiència es manté al mateix nivell que les demandes a gran escala.
A qui s'adreça i on s'adapta
Grans fabricants de semiconductors: el model de 12-polzades és el vostre favorit per treure xips CMOS, dispositius d'alimentació IGBT i altres components bàsics en grans volums.
Principals empreses d'electrònica/nova energia: el model de 8-polzades brilla aquí-ja sigui que feu electrònica per a automòbils, peces bàsiques de comunicació 5G, xips electrònics de consum o semiconductors de potència, la seva compatibilitat amb diversos processos manté la producció sense problemes.
Universitats i institucions de recerca: el model de 8-polzades és perfecte per provar nous materials semiconductors o per desenvolupar prototips de dispositius d'avantguarda. S'adapta fàcilment a diferents configuracions d'R+D, la qual cosa és un gran avantatge per al treball de laboratori.
Una nota ràpida sobre la qualitat: utilitzem materials professionals i un disseny estructural intel·ligent per a la cambra, de manera que la puresa de la pel·lícula està garantida-que no hi hagi impureses no desitjades que embolin les coses. I ambdós models destaquen en processos estables, gràcies a un control precís de la temperatura i una qualitat de pel·lícula constant.
Encara no esteu segur de quina s'adapta millor? Posa't en contacte amb nosaltres i t'ajudarem a trobar l'equip adequat per al teu flux de treball!
