L'equip RTP d'oxidació i difusió és una eina bàsica de processament tèrmic per a semiconductors-que combina l'oxidació, la difusió i el recuit en una unitat robusta. Funciona perfectament amb silici, carbur de silici i altres materials crítics, maneja hòsties de fins a 8 polzades i s'ha guanyat una reputació de rendiment fiable i control puntual que compleix les exigències diàries del processament de semiconductors.
Aplicacions bàsiques
1. Producció massiva de dispositius basats en silici-: és el cavall de batalla darrere dels circuits integrats, IGBT i components similars. L'utilitzareu per fer créixer pel·lícules aïllants mitjançant l'oxidació, marcar els nivells de dopatge amb difusió i eliminar els defectes mitjançant el recuit-tot això mantenint-se al dia amb la sortida de gran-volum necessari en electrònica de consum i control industrial.
2. Processament de material de-banda àmplia: aquesta eina és realment pròpia amb materials avançats com el SiC i el GaN. Us permet ajustar correctament les concentracions de dopatge i suavitzar les interfícies de material, la qual cosa és clau per fer-peces d'alt rendiment-pensen mòduls de potència per a vehicles d'energia nova que necessiten suportar condicions dures.
3. R+D de semiconductors: universitats i laboratoris ho juren per la seva flexibilitat. És una plataforma de diversos-procés que permet als investigadors canviar entre oxidació, difusió i molt més sense problemes-perfecta per provar nous materials com l'òxid de gal·li o fer experiments per veure com s'agiten els diferents paràmetres.
Usuaris ideals
1. Empreses de-fabricants a gran escala: si esteu produint semiconductors per a electrònica de consum o vehicles d'energia nova, aquest equip és imprescindible-. El seu disseny tot--redueix els costos addicionals i manté els fluxos de treball en moviment, mentre que el seu rendiment constant garanteix que la producció es mantingui en bon camí i que els rendiments es mantinguin constants-sense temps d'inactivitat inesperats que us alentiran.
2. Institucions de recerca i universitats: per als equips que busquen nous materials semiconductors, aquesta eina s'adapta a les necessitats. Gestiona-experiments per lots petits amb facilitat, funciona amb una àmplia gamma de materials i us permet ajustar els paràmetres del procés segons sigui necessari-ajudant a accelerar el ritme d'innovació sense comprometre els resultats.
3. Fabricants de dispositius mitjans i petits: si necessiteu fer malabars amb les comandes personalitzades amb la producció per lots, aquest equip és una elecció intel·ligent. Funciona amb diversos materials, de manera que no cal que compreu eines separades per a diferents processos, i la seva configuració de tubs d'1-4 processos us permet augmentar o reduir la capacitat. Aquesta agilitat és un gran avantatge quan intenteu mantenir-vos competitius en un mercat en moviment ràpid.
